凈化工程無塵室特性
無塵室特性,無塵室特點,無塵室有哪些特性?無塵室有什么特點?
無塵室特性:
(1)耐久性:
無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。
(2)清洗:
在制藥和生物工學工業,無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個最重要的企業。
(3)成本:
微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。
(4)適應性:
一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將最初的設計定型。
(5)可維護性:
對無塵室C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板,其包含HEPA及ULPA等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區域的小房間,曾有人說:若建造之預算因某種原因被限制,除了少數的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須精確。
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